Tenor Auf die Berufung der Beklagten wird das Urteil des
- Senats (Nichtigkeitssenats) des Bundespatentgerichts vom
- November 2017 abgeändert. Die Klage wird abgewiesen. Die Klägerin trägt die Kosten des Rechtsstreits. Von Rechts wegen. Tatbestand Die Beklagte ist Inhaberin des mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland erteilten europäischen Patents 1 495 486 (Streitpatents), das am
- April 2003 unter Inanspruchnahme einer deutschen Priorität vom
- April 2002 angemeldet wurde und ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern oder Hybriden betrifft. Patentanspruch 1, auf den drei weitere Ansprüche zurückbezogen sind, und Patentanspruch 5, auf den fünf weitere Ansprüche zurückbezogen sind, lauten nach einem Beschränkungsverfahren:
- Verfahren zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit den Schritten: Bereitstellen eines zumindest teilweise geschlossenen Raums
(1)mit einer darin befindlichen Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder Hybrids; und Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)zum Temperieren der Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10); wobei zumindest ein Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)verlassenden Fluids zum Konditionieren der Atmosphäre innerhalb des Raums
(1)verwendet wird; wobei der Raum
(1)durch einen Behälter
(5)im Wesentlichen geschlossen ist; wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung
(10)verlassenden Fluids zunächst temperiert wird und dann innerhalb des Raums
(1)ausströmen gelassen wird; und wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung
(10)verlassenden Fluids dadurch temperiert wird, dass er zur Vorkühlung des Fluids in einem Wärmetauscher außerhalb des Raums
(1)verwendet wird, bevor er innerhalb des Raums
(1)ausströmen gelassen wird. 5. Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit: einem zumindest teilweise geschlossenen Raum
(1), wobei der Raum
(1)durch einen Behälter
(5)im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder Hybrides; und einer Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)zum Temperieren der Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)und zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)verlassenden Fluids in den Raum
(1)zum Konditionieren der Atmosphäre in dem Raum
(1); wobei die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) aufweist: eine erste Leitung (r2), über die das Fluid von außerhalb des Raums
(1)in die Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)leitbar ist; eine zweite Leitung (r3), über die das Fluid aus der Wafer/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung
(10)nach außerhalb der Raums
(1)leitbar ist; und eine dritte Leitung (r4), über die das Fluid von außerhalb des Raums
(1)in den Raum
(1)rückführbar ist; wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine Temperierungseinrichtung (70; 70, 80 ) vorgesehen ist; wobei die Temperierungseinrichtung (70; 70, 80 ) einen Wärmetauscher
(95)aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum
(1)verlassenden Fluids zuleitbar ist; wobei der Wärmetauscher
(95)zum Vorkühlen des zugeführten Fluids dient; wobei die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher
(95)verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist. Die Klägerin hat das Streitpatent wegen unzulässiger Erweiterung und fehlender Patentfähigkeit angegriffen. Die Beklagte hat das Schutzrecht in der geltenden Fassung und mit zwei Hilfsanträgen verteidigt. Das Patentgericht hat das Streitpatent für nichtig erklärt. Dagegen richtet sich die Berufung der Beklagten, mit der sie ihre erstinstanzlichen Anträge weiterverfolgt. Die Klägerin tritt dem Rechtsmittel entgegen. Permalink: https://openjur.de/u/2240445.html ( https://oj.is/2240445 ) Volltext Druckansicht PDF Download Zitate 0 Zitiert 2 Referenzen 0 Schlagworte Problem melden Impressum Datenschutz Nutzungsbedingungen Über openJur English openJur e.V.